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精密蝕刻(etching)是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。精密蝕刻技術(shù)可以分為濕精密蝕刻(wet etching)和干精密蝕刻(dry etching)兩類。
早可用來(lái)制造銅版、鋅版等印刷凹凸版,也被使用于減輕重量(Weight Reduction)儀器鑲板,銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等的加工;經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展,亦可以用于航空、機(jī)械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密精密蝕刻產(chǎn)品的加工,特別在半導(dǎo)體制程上,精密蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。
通常所指精密蝕刻也稱光化學(xué)精密蝕刻(photochemical etching),指通過(guò)曝光制版、顯影后,將要精密蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜清去,在精密蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液,達(dá)到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。
曝光法:工程根據(jù)圖形開(kāi)出備料尺寸-材料準(zhǔn)備-材料清洗-烘干→貼膜或涂布→烘干→曝光→ 顯影→烘干-精密蝕刻→脫膜→OK
網(wǎng)印法:開(kāi)料→清洗板材(不銹鋼其它金屬材料)→絲網(wǎng)印→精密蝕刻→脫膜→OK
精密蝕刻優(yōu)版: 采用噴墨打印技術(shù)將墨水打印到材料表面,再經(jīng)過(guò)固化(一般是用光固化也有用熱固化)即可獲得層然后可以進(jìn)行下一步化學(xué)腐蝕或者電腐蝕。
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